ASTM F 576-1990 用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的试验方法

作者:标准资料网时间:2024-05-09 00:32:27 浏览:9315 来源:标准资料网

【英文标准名称】:TestMethodforMeasurementofInsulatorThicknessandRefractiveIndexonSiliconSubstratesbyEllipsometry
【原文标准名称】:用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的试验方法
【标准号】:ASTMF576-1990
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1990
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:衬底(绝缘);厚度;折射指数;电子工程;绝缘子;测量;硅
【英文主题词】:thickness;electronicengineering;insulators;measurement;refractiveindex;substrates(insulating);silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:8P;A4
【正文语种】:英语

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标准名称：	渔网网目尺寸测量方法网目尺寸测量用的预加张力 [合订本]
英文名称：	Fishing nets-Method of measure for mesh size Pre-tension for determination of the mesh size
ICS分类：
发布日期：	1986-10-23
实施日期：	1987-07-01
首发日期：
作废日期：
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	1987-07-01